alicat氣體質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說，質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置，是一個可以手動設(shè)定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
alicat氣體質(zhì)量流量控制器對流量進行計量或監(jiān)測時，用質(zhì)量流量計；需要對流量進行控制時，用質(zhì)量流量控制器。某些測量場合，用二者皆可，如對毛細(xì)管流通能力的測量，當(dāng)定壓測流的時候，用質(zhì)量流量計；當(dāng)定流測壓時，需要用質(zhì)量流量控制器。注意，當(dāng)質(zhì)量流量控制器處于清洗狀態(tài)時，也可以當(dāng)質(zhì)量流量計使用，只不過氣壓降要比普通質(zhì)量流量計大一些。
有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa；可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品小流量范圍可達(dá)0～5sccm，大流量范圍可達(dá)0～200slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1％，流量控制范圍是滿量程的2～100％（量程比為--50：1），因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量（無需溫度壓力補償）。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源，數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。
